لیتوگرافی نوری

این کتاب برای مهندسان، مدیران فناوری و تکنسین‌های ارشد تازه‌کار و باتجربه‌ای نوشته شده است که می‌خواهند درک خود را از فیزیک تشکیل تصویر یک سیستم لیتوگرافی غنی‌تر کنند. خوانندگان با معادلات و ثابت‌های اساسی که لیتوگرافی نوری را هدایت می‌کنند، آشنا می‌شوند، اصول اولیه سیستم‌های نوردهی و تشکیل تصویر را می‌آموزند و با درک کاملی از اجزای سیستم، پردازش و بهینه‌سازی به پایان می‌رسانند. خوانندگان همچنین مروری بر چشم‌انداز لیتوگرافی نوری و ابزارهایی برای افزایش تولید نیمه‌هادی‌ها خواهند داشت. این ویرایش دوم، تجربه منحصر به فرد نویسنده در تحقیق، تدریس و تولید انبوه در سطح جهانی را با هم ترکیب می‌کند تا مطالب کاملاً جدیدی در مورد چاپ مجاورتی و همچنین مطالب به‌روز و گسترده در مورد سیستم‌های نوردهی، تشکیل تصویر، روش‌شناسی E-D، اجزای سخت‌افزاری، پردازش و بهینه‌سازی، و لیتوگرافی‌های EUV و غوطه‌وری اضافه کند.